氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作原理主要分為層流壓差式和熱式兩種技術(shù)路線，其核心原理及特點(diǎn)如下：

一、層流壓差式原理

結(jié)構(gòu)組成?：包含層流元件、壓差傳感器、溫度傳感器、電磁比例閥及控制電路?。

工作流程?：

氣體流經(jīng)層流元件時(shí)，湍流被規(guī)整為穩(wěn)定層流狀態(tài)，形成高壓端與低壓端的壓差?。

根據(jù)哈根-泊肅葉定律，層流狀態(tài)下體積流量與壓差呈線性關(guān)系，通過(guò)微處理芯片實(shí)時(shí)計(jì)算標(biāo)況流量?。

控制電路動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)電磁閥開(kāi)度，實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)流量閉環(huán)控制?。

二、熱式原理

核心元件?：采用雙RTD鉑熱電阻，一個(gè)作為參考端，另一個(gè)為加熱測(cè)量端?。

測(cè)量機(jī)制?：

無(wú)流量時(shí)，測(cè)量端保持恒定加熱功率，與參考端存在固定溫差?。

氣體流動(dòng)時(shí)，測(cè)量端熱量被帶走，溫差變化與流量成線性關(guān)系，通過(guò)信號(hào)轉(zhuǎn)換輸出流量值?。

三、其他技術(shù)類型

渦街式?：通過(guò)檢測(cè)流體經(jīng)過(guò)渦街發(fā)生器產(chǎn)生的漩渦頻率計(jì)算流量，適用于大范圍測(cè)量?。

渦輪式?：利用流體推動(dòng)渦輪旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速換算流量，常見(jiàn)于天然氣計(jì)量?。

四、應(yīng)用對(duì)比

類型 優(yōu)勢(shì) 典型應(yīng)用場(chǎng)景

層流壓差式 高精度、多氣體兼容 半導(dǎo)體、真空鍍膜?

熱式 微小流量測(cè)量、無(wú)需溫壓補(bǔ)償 生物醫(yī)藥、新能源?

注：科里奧利質(zhì)量流量計(jì)（精度±0.2%）等高端型號(hào)采用進(jìn)口芯片，適用于高精度需求場(chǎng)景?。